SRM 1010a - 微拷贝分辨率测试图标准品

产品介绍

NIST SRM 1010a 显微分辨率测试图(标准品)旨在用于确定摄影行业中显微系统的分辨能力。它旨在满足 ISO 2 号测试图表的一般要求，如 ISO 3334: 1989 [1] 中所述。此 SRM 由五个相同的图表组成，带有 26 个图案，印在具有光泽表面的白色相纸上。每个图表标称 90 毫米宽 x 113 毫米高。

测试图表图案描述：

图案由白色背景上的黑色条组成，条的长度是其宽度的 24 倍，条和空格的宽度相等。图案的空间频率范围为 1 个周期/mm 到 18 个周期/mm。每个图案由两组五根双杠组成；两组中的酒吧彼此垂直。与每个图案相关的数字是该图案上的周期数/毫米。

认证到期：只要按照本证书中给出的说明存储和处理 SRM，则本 SRM 的认证被视为在规定的公差范围内是无限期的

NIST 测量技术：

所有NIST SRM 1010a 显微分辨率测试图(标准品)测试图均由一个主负片制成。最初，该批次中 25% 的测试图表分别通过测量显微镜和反射密度计进行水平和垂直观察测量的评估。 1998 年，随机测量了五个从剩余库存中选择 SRM 单元。使用定制的空气轴承支持的 X-Y 坐标机，使用超高精度显微镜和激光干涉仪定位台重新测量线宽、线长、空间宽度和相对密度。系统的 X-Y 坐标精度大于 40 nm。还使用标准测量显微镜和使用带有校准刻度的手动模式的 X-Y 坐标机检查测量结果。

测量结果 相对于 ISO 3334: 1989 规格：

所有图案的相对密度都超过了规定的 85 % 下限。四个完整周期的空间频率误差小于为所有模式规定的 3%。所有模式的行长度都在规定范围内。空间频率 1.0 到 5.0 和 10通过 18，都在规定的公差范围内。对于 5.6 到 9.0 的空间频率，公差最多超过 0.03，见表 1。镜头、照相材料的分辨能力、聚焦精度、振动和光学图像相对于照相材料的系统相对运动。系统的分辨能力（以周期/mm 为单位）是图像中分辨出的图案数量乘以缩小比的倒数。